전자현미경은 렌즈관, 진공 장치, 전원 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다.
1. 렌즈 배럴은 주로 전자 소스, 전자 렌즈, 샘플 홀더, 형광 스크린, 검출기 및 기타 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 위에서 아래로 실린더로 조립됩니다.
전자렌즈는 전자를 집중시키는 데 사용되는 것으로 전자현미경 배럴의 가장 중요한 부품이다. 일반적으로 자기렌즈가 사용되며, 때때로 정전렌즈가 사용되기도 합니다.
2. 진공 장치는 전자가 경로에서 흡수되거나 편향되지 않도록 현미경 내부의 진공 상태를 보장하는 데 사용됩니다. 기계식 진공 펌프, 확산 펌프 및 진공으로 구성됩니다. 밸브이며 배기 파이프라인을 통과하여 렌즈 배럴에 연결됩니다.
3. 전원 캐비닛은 고전압 발생기, 여자 전류 안정기 및 다양한 조정 제어 장치로 구성됩니다.
확장 정보
전자현미경의 단점:
1. 전자현미경은 시료를 진공상태에서 관찰해야 하기 때문에 살아있는 시료를 관찰할 수 없습니다. 기술이 발전함에 따라 환경주사전자현미경은 점차 살아있는 시료를 직접 관찰할 수 있게 될 것입니다.
2. 시료를 처리할 때 시료에 원래 없는 구조가 생성되어 분석이 더욱 어려워질 수 있습니다.
3. 매우 강한 전자 산란 능력으로 인해 2차 회절이 발생하기 쉽습니다.
4. 3차원 물체의 경우 이미지가 고유하지 않은 경우도 있습니다.
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5. 투과전자현미경은 매우 얇은 샘플만 관찰할 수 있으므로 물질 표면의 구조가 물질 내부의 구조와 다릅니다.
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