진동 감지 센서는 주로 와전류 센서, 속도 센서, 가속도 센서 등이 있습니다.
소용돌이 센서의 끝에 코일이 있습니다. 코일은 주파수가 높은 (일반적으로 1MHz～2MHz) 교번 전압을 통과합니다. 코일 평면이 도체 면에 가까울 때 코일 자속 체인이 도체를 통과하므로 도체의 표면층이 와전류 ie 를 감지하고 ie 에 의해 형성된 자속 체인입니다. 결합 계수의 크기는 둘 사이의 거리와 도체의 재료와 관련이 있습니다. 재료가 정시 되면 결합 계수는 거리 D 와 관련이 있으며 함수 피쳐는 "S" 곡선이지만 거의 선형인 세그먼트를 선택할 수 있습니다. 따라서 와전류 센서는 일반적으로 변위 센서라고도 하는 금속 표면의 변위 변화를 측정하는 데 사용됩니다.
속도 센서는 일반적으로 내부 영구 자석, 지지 스프링, 코일, 하우징 및 신호 케이블로 구성됩니다. 일반적으로 속도 센서는 테스트된 물체의 강성과 직접 연결되어 있습니다. 측정된 물체가 진동할 때, 속도 센서는 측정된 물체와 함께 움직이지만, 속도 센서 내의 지지 스프링이 존재하기 때문에 영구 자석과 코일이 상대적으로 움직이므로 코일이 자력선을 절단하면 속도 센서가 작은 발전기가 됩니다. 측정된 물체의 진동 속도가 빠를수록 센서 출력의 전압이 높아집니다. 즉, 진동 속도는 출력 전압에 비례합니다.
가속도 센서는 측정 대상 물체의 진동 가속도를 측정하는 데 사용됩니다. 가속도 센서 안에는 압력 결정 조각이 있고 가속도 센서와 측정 대상 물체도 나사로 연결되어 있습니다. 측정 대상 물체가 진동할 때 관성의 작용으로 인해 압전 결정 조각에 압력이 가해져 변형이 발생하며, 그 결정 면이나 극화면에 전하가 발생하여 생성되는 전하 수와 힘이 있습니다.