실리콘 웨이퍼 재활용은 Fujian의 새로운 에너지 재활용입니다. 전문 기관에서는 폐기물 또는 만료된 1차 폴리실리콘, 125개의 태양광 단결정 셀, 156개의 태양광 다결정 웨이퍼(전체 웨이퍼, 조각), 연마된 웨이퍼 및 헤더를 전문적으로 재활용합니다. 광미, 반도체 실리콘 웨이퍼 및 희소 금속 실리콘 웨이퍼를 재활용하는 공정 흐름은 다음과 같이 자세히 설명됩니다. 슬라이싱: 단결정 실리콘 막대를 정확한 기하학적 치수를 가진 얇은 실리콘 웨이퍼로 자릅니다. 이 공정에서 생성된 실리콘 분말은 물과 침출되어 폐수 및 실리콘 슬래그가 생성됩니다. 어닐링: 이중 스테이션 열산화로를 질소로 퍼지한 후 적외선으로 300~500°C로 가열합니다. 실리콘 웨이퍼의 표면은 산소와 반응하여 실리콘 표면에 이산화규소 보호층을 형성합니다. 웨이퍼.
면취: 어닐링된 실리콘 웨이퍼를 원호 모양으로 다듬어 가장자리 균열 및 격자 결함을 방지하고 에피층과 포토레지스트층의 평탄도를 높입니다. 이 공정에서 생성된 실리콘 분말은 물과 침출되어 폐수 및 실리콘 슬래그가 생성됩니다.