모든 기술의 출현과 발전은 생산의 필요에 따른 것이며, 클린룸 기술도 예외는 아니다. 제2차 세계대전 중에 미국에서 항공기 항법용으로 생산된 공기 베어링 자이로스코프는 불안정한 품질로 인해 자이로스코프 10개당 평균 120번의 재작업을 거쳐야 했습니다. 1950년대 초반 한반도 전쟁 당시 미국에서는 16만여 대의 전자 통신 장비 중 100만개 이상의 전자 부품이 교체됐다. 레이더는 84% 실패했고, 잠수함 소나는 48% 실패했다. 그 이유는 전자기기 및 부품의 신뢰성이 낮고 품질이 불안정하기 때문이다. 군과 제조사에서는 원인을 조사한 결과, 여러 측면에서 불결한 생산 환경과 관련이 있는 것으로 최종 결론을 내렸습니다. 비용을 아끼지 않고 생산 작업장을 폐쇄하기 위해 다양한 엄격한 조치를 취했지만 결과는 미미했습니다. 인체에 유해한 방사성 먼지를 포집하는 문제를 해결하기 위해 1951년 미국 원자력 위원회에서 개발에 성공한 고효율 공기 필터(HEPA—High Efficiency Particulate AirFilter)가 1950년대 초반에야 적용되었습니다. 생산 작업장의 공기 공급 여과. 현대적인 의미를 지닌 클린룸이 탄생했습니다.
1961년 미국 산디아 국립연구소의 선임연구원인 윌리스 휘트필드(Willis Whitfield)는 당시에는 층류라고 불렸던 것을 제안했고, 현재는 단방향 흐름에 대한 청정공기 흐름 조직 방식을 적용했다. 실제 프로젝트에서. 그 이후로 클린룸의 청결도는 전례 없는 수준에 도달했습니다.
같은 해 미 공군은 세계 최초의 클린룸 표준 TO-00-25-203 공군 지침 '클린룸 및 클린 벤치의 설계 및 작동 특성에 대한 표준'을 제정하여 발표했습니다. " 이를 바탕으로 1963년 12월 클린룸을 3단계로 구분하는 미국 연방 표준 FED-STD-209가 발표되었습니다. 지금까지 완벽한 클린룸 기술의 원형이 형성되었습니다. 위의 세 가지 주요 발전은 종종 현대 클린룸 개발 역사에서 세 가지 이정표로 환영받습니다.
1960년대 중반 미국의 다양한 산업 분야에서 클린룸이 생겨났다. 군수산업뿐만 아니라 전자, 광학, 마이크로베어링, 마이크로모터, 감광성 필름, 초순수 화학시약 등 산업분야에서도 발전하여 과학, 기술, 산업 발전에 큰 역할을 했습니다. 그 당시에는 프로모션 효과가 있습니다.
1970년대 초, 클린룸 건설의 중심이 의료, 제약, 식품, 생명화학 산업으로 옮겨가기 시작했습니다. 미국 외에도 일본, 독일, 영국, 프랑스, 스위스, 구소련, 네덜란드 등 산업 선진국들도 청정기술을 중시하고 활발히 개발하고 있다.
1960년대 초반은 중국 청정기술 개발의 초기 단계로, 해외보다 약 10년 정도 늦었다. 중국은 매우 특별하고 어려운 시대였습니다. 한편으로는 3년간의 자연재해를 겪었고, 다른 한편으로는 세계 기술 선진국과 직접적인 접촉이 없었으며, 경제 기반도 취약했습니다. 필요한 과학 및 기술 데이터, 정보 및 샘플을 얻을 수 없었습니다. 이러한 어려운 상황에서 중국의 청정 기술 근로자들은 정밀 기계, 항공 계측 및 전자 산업의 요구에 초점을 맞춘 기업가적 여정을 시작했습니다.
중국의 청정기술 개발 과정은 다음과 같은 단계로 구분된다.
시작 및 기반 단계
1960년대 초반부터 1970년대 후반까지, 기간 10년 이상이 중국 청정 기술의 시작이자 기반 단계였습니다.
1965년 중국건축과학원 공조연구소와 방부단열재 공장 등이 개발한 골판지형 고효율 공기필터가 감정을 통과하며 공식 출범을 알렸다. 우리나라의 청정기술. 당시 사용된 여과지는 두 종류가 있었는데, 하나는 청석면 섬유 여과지로 만든 GS 시리즈 고효율 공기 필터였지만, 다른 하나는 생산 공정이 인체에 좋지 않아 단종되었습니다. 유리 섬유 여과지로 만든 GB 시리즈 고효율 공기 필터는 오늘날에도 여전히 사용되고 있습니다.
국내 고효율 공기필터의 핵심기술은 국내 유사 외국제품과의 수많은 비교시험과 미국 미네소타대학교 에어로졸연구소의 중국 고효율 여과지 시험결과를 통해 입증됐다. , 같은 기간 동안 국제 표준에 도달했습니다.
일본은 1950년대 후반부터 미국과 협력해 고효율 공기필터를 일본에서 제조해왔고, 청정기술도 더 일찍 시작됐지만 기술과 여과지는 미국에서 나왔다는 점은 언급할 만하다. 미국 일본이 HEPA 필터를 완전히 국유화한 것은 1969년이 되어서였습니다.
동시에 1963년에 필터재료용 나트륨염화 테스트베드 개발에 성공했고, 1964년에는 고효율 필터용 나트륨염화 테스트베드를 구축했다. 고효율 공기 필터의 품질이 향상되었습니다. 이를 위해 중국의과학원 보건연구소, 칭화대학교 원자력연구소 등 기관들이 열심히 노력해왔습니다.
고효율 공기 필터를 청정 기술의 '핵심'에 비유한다면 감지 기술과 장비는 청정 기술의 눈으로 이를 식별하고 제어합니다. 1960년대 중반 중국의과학원 위생연구소, 하얼빈건설공정연구소, 단동계기연구소, 중국과학원 안휘광학기계연구소, 공조연구소 건설연구소의 광산란 입자 계수기 개발에 지속적으로 투자했습니다. 1973년에 연구소는 중국 최초의 먼지 입자 계수기 모델 J-73과 입자 계수기를 교정하는 데 사용되는 표준 입자인 단분산 폴리스티렌 라텍스 표준 입자(PSL)를 성공적으로 개발하는 데 3년이 걸렸습니다. 평균 입자 크기는 0.177부터입니다. 1.460μm까지 9가지 유형이 있으며 표준 편차는 매우 작으며 평균 제곱근 차이 계수는 σ/χlt입니다. J-73 유형 ***은 15개의 입자 크기 기어가 장착되어 있으며 측정 범위는 0.3~10μm, 샘플링 유량은 300ml/min입니다. 이 두 성과는 1974년 국가 평가를 통과해 당시 세계 수준에 도달했거나 접근한 것으로 평가됐다. 먼지 입자 계수기의 대중화 및 적용은 중국 청정 기술의 과학 연구, 설계 및 정화 장비 생산을 촉진했으며 자립, 자립의 길을 따라 전진했습니다.
동시에 전자기술, 정밀기계, 방위산업 관련 일부 설계연구소에서도 클린룸의 공학적 설계를 탐구하고 연구하고 있다. 1965년에 건설된 심양 119공장과 스자좡 13공장은 제3기계부 제4연구소(현 항공공업부 제4설계연구소)와 제4기계부 제2설계연구소로 구성되었다. (현 중국 전자 공정 설계 연구소) 구소련의 구성을 기반으로 화학적 수준에서 설계 및 제작되었습니다.
1966년 중국과학원 설계연구소는 국산 GB 시리즈 고효율 공기필터를 선택해 중국과학원 760제곱미터 규모의 정밀 기계 조립 작업장을 설계했다. 1970년에 생산에 들어간다. 이후 정적 조건에서 실내 공기 교환율이 20AC/h일 때 실내 청정도가 당시 미국 연방 표준 209A 수준 10000에 도달한 것으로 측정되었습니다.
1973년 초 제4기계부 제10설계연구소와 제11설계연구소에서 각각 878공장과 4433공장의 클린작업장 설계에 착수했고, 두 공장의 클린룸 수준에는 FED가 포함됐다. -STD —209A의 클래스 100,000~클래스 100 공기 흐름 유형에는 수직 단방향 흐름, 수평 단방향 흐름 및 난류가 포함됩니다.
이 단계에서 클린룸을 뒷받침하는 정화장비가 잇달아 시생산에 성공하며, 원래 라디오, 반도체, 의료기기용 특수장비를 생산하던 일부 공장이 정화장비 생산으로 전환, 예비 국내 산업을 형성합니다. 클린룸 장비 생산 규모 및 레이아웃. 이들 공장은 주로 베이징, 텐진, 쑤저우, 상하이, 충칭에 위치해 있었습니다. 다양한 종류의 클린벤치 설계 및 제작을 시작으로 샤워실, 에어록, 자재이송창, 잔압밸브 등 관련 장비를 순차적으로 설계, 제작하고 있습니다.
1960년대 후반과 1970년대 초반 소규모 청정 작업 환경을 위한 일부 연구 기관의 요구와 일부 노후 공장의 소규모 클린룸 개조 필요성에 부응하기 위해, 건설연구소 공조연구소, 제6기관 기계부 제9연구소(현 조선공업공사 제9설계연구소), 제3기계부 제4연구소, 천진의료기기 전신 공장 및 천진 제약 정제 장비 공장) 및 기타 단위는 조립식 수직 장치 방향 흐름, 수평 단방향 흐름 클린룸을 성공적으로 개발했습니다.
정화 장비 공장에서 생산하는 이러한 조립식 클린룸은 특히 원래 건물을 기술적 변형에 사용할 때
필요한 정화 면적이 상대적으로 작으며 빠른 설계와 건설 및 기술 성능이 안정적이며 1974년 천진 국가 평가를 통과했습니다.
1974년부터 건설연구소 공조연구소, 제4기계부 제10연구소 등에서 청정기술연구소를 설립하고 기초연구를 진행해왔다. 예를 들어 건설연구소 공조연구소는 연구소 연구실 내 난류 클린룸의 균일분포와 불균일분포 계산에 관한 연구와 양측 환기공기 클린룸의 기류특성에 대한 연구를 수행하였다. 4차 기계부 제10설계연구소에서는 난류 클린룸에 대한 실험연구, 고효율 필터의 공기공급구 공기흐름 분포에 관한 연구, 연구소 청정 연구실에서 인체가 배출하는 먼지의 양 등 다양한 주제.
동시에 기계부 제7연구소(항공우주산업부 제7연구소), 건설연구원 공조연구소 등 일부 연구기관과 설계기관에서는 제10연구소, 제4기계부 제11연구소, 제2기계연구소 원자력산업부 제2연구소(원자력산업부 제2연구소), 제6부 제9연구소 기계류 등의 대학과 Tianjin University, Tongji University, Hebei Institute of Technology 등 일부 대학은 클린룸 기술 연구 협력 그룹을 구성하여 국가 대규모 집적 회로 연구에 협력하고 있습니다. 중국의 청정 기술 수준을 향상시키기 위해 일련의 테스트와 연구 작업이 수행되었습니다. 예를 들어 베이징, 시안, 상하이 및 기타 장소에서 다양한 환경의 실외 대기 먼지 농도에 대한 장기 측정 및 통계 분석이 수행되었으며 기존 클린룸은 전국에서 테스트되었으며 클린룸 설계, 건설, 운영 및 장비가 생산 경험을 요약하기 시작했습니다.
같은 기간 해외의 청정기술 발전은 대략 다음과 같다.
1960년대 중반 미국의 전자, 정밀기계 및 기타 공장의 클린룸 국가는 당시 과학, 기술 및 산업 발전에 중요한 영향을 미쳤으며 산업용 클린룸 기술(ICR-Industrial Cleanroom)을 생물학에 이식하는 과정을 촉진하는 데 큰 역할을 했습니다. 클린룸(BCR-생물학적 클린룸). 1970년대 초반 클린룸 건설 붐은 의료, 제약, 식품, 생화학 산업으로 바뀌었다.
1966년 세계 최초의 수직 단방향 흐름 생물학적 청정 기술실(BCOR—Biological Clean Operating Room)이 미국 뉴멕시코주에 건설되었습니다. 같은 해, 당시 미국 오염 통제 협회(AACC, 나중에 IEST(환경 과학 기술 연구소)로 합병됨)는 "층류 수술실의 설계 및 구성" 및 "수술 분야의 층류 청정 공기"를 출판했습니다. 신청서' 및 기타 안내 문서를 참조하세요.
같은 해 미국 미네소타대학교에는 세계 최초의 수평층류 멸균실이 세워졌다. 1967년, 세계 최초의 생물학적으로 깨끗한 백혈병 병실이 미국 텍사스의 M.D. 앤더슨 병원에 건설되었습니다.
영국에서는 유명한 성형외과 전문가인 D.J. 찰리(D.J. Charnley)도 1966년에 클린하우스라고 불리는 생물학적으로 깨끗한 수술실을 건설했습니다. 1969년 오스트리아 리츠에 유럽 최초의 층류병동이 건설됐다.
이후 스위스와 독일에도 의료용 생물학적 클린룸이 건설됐다.
1965년 일본 국립보건원이 불임동물 사육실(SPF)용 고효율 필터를 갖춘 생물학적 클린룸(BCR)을 건설한 것은 일본에서 더욱 빨랐다. 1970년에 아이치현 근로자 병원에 조립식 수직 층류 백혈병 병동이 건설되었습니다.
1972년 국립오사카병원 수직층류 무균수술실이 건립됐다. 1977년 말까지 병원에는 131개의 생물학적 청정실이 있었습니다.
미국 식품의약국(FDA)은 의약품의 안전성과 유효성을 확보하기 위해 1964년부터 '의약품 우수제조관리기준(Good Manufacturing Practice for Pharmaceuticals)'을 미국에서 시행하기 시작했다. 1969년 세계보건기구(WH0)는 의약품의 무균 생산을 보장하기 위해 생산 환경과 수질에 대한 요구 사항을 규정하는 GMP를 공포했습니다. 생물학적 클린룸 기술은 미국, 일본, 서유럽 등 선진국의 제약 산업에서 널리 사용되고 있습니다.
미국 FDA는 1969년 식품의 GMP인 '식품제조기준'을 공포해 식품의 변질을 방지하기 위해 제조·포장 과정에서 미생물과 온도·습도 등을 엄격히 관리하도록 규정했다. 무균 식품 통조림 제조를 위한 클린룸은 당시 유럽과 미국에서 급속도로 홍보되었습니다.
미국을 예로 들면, 무균 통조림 식품의 총량은 1971년 25억 4천만 톤에서 1980년 132억 7천만 톤으로 증가했으며, 그 중 육류 제품은 거의 19배 증가했다. 식품 양조 및 발효 산업에서는 순수 육종, 접종, 종자 확장 및 기타 공정에도 클린룸 기술이 사용됩니다.
클린룸 시장의 약 70%를 차지하는 전자·반도체 산업은 1970년대를 대규모 집적화(LSI) 시대, 1980년대를 초대형 집적화 시대라고 불렀다. -규모 집적 회로(VLSI) 시대. 집적회로의 집적도는 1970년 이후 2~3년마다 거의 4배의 속도로 급속히 발전해 왔다.
1970년대 후반 초대형 집적회로 단계에 진입하는 획기적인 제품으로 64K비트 RAM을 개발하는 과정에서 일반적인 선폭이 3μm, 최소 입자가 있다는 사실이 주목됐다. 조절해야 할 크기는 0.3~0.8μm였다. 즉, 0.3μm 효율을 표준으로 하는 HEPA 필터는 전자 기술의 향후 발전에 적응할 수 없습니다. 미국과 일본은 0.1μm 먼지 입자 99.99~99.995의 계수 및 여과 효율을 갖춘 초고효율 공기 필터를 잇달아 개발 및 제조했습니다. - ULPA(초저 침투 공기) 필터('초저 침투 공기'라고도 번역됨) 여과"). 장치").
성숙과 발전 단계
1970년대 후반부터 1980년대 후반까지 중국의 청정 기술은 이 10년 동안 밝은 발전 단계를 경험했습니다. 중국 청정기술의 발전 과정에서 많은 획기적인 성과와 중요한 성과가 거의 모두 이 단계에서 탄생했다.
1. 표준, 사양 제정 및 국제 교류:
1979년 1월에 설계, 연구, 대학 및 기타 부서에서 에어컨 시스템 구축에 관한 보고서를 발표했습니다. 건설연구소 공조연구소가 산업용 클린룸의 테스트 및 요약 경험을 바탕으로 편찬한 "공기 청정 기술 조치"는 당시 중국의 클린룸 기술을 표준화하고 홍보하는 데 중요한 역할을 했으며, 향후 국가표준 제정의 기반이 될 것입니다.
1984년 12월 전자부 제10설계연구소와 관련 기관이 공동으로 편찬한 GBJ73-84 국가표준 '청정공장 건물 설계기준'이 공포됐다. 채택된 것과 동일합니다. 당시 세계 대부분의 국가에서 인정한 미국 연방 표준 209B를 채택했으며 중국에서 여러 지역에서 사용했던 자체 정의된 여러 가지 클린룸 분류 표준을 버리고 국제 표준을 도입하여 중국의 요구 사항에 맞췄습니다. 한 단계 더 발전한 국제 표준의 클린룸 기술.
이후 중국의 국내 상황과 국제 표준을 참조하여 GB6166-85 고효율 필터 재료 성능 테스트 방법, 침투율 및 저항, GB6167-85 먼지 입자 계수기 성능 테스트 방법, GB6168 -85개의 층류가 연속적으로 제정됨. 클린 작업대 검사 기준 등 기타 기준은 시험 및 측정 방법을 통일화, 표준화하고 과학성을 높이는 데 큰 역할을 하였음.
1988년 11월 확정된 국가 표준 GB12218-89 "일반 환기용 공기 필터 성능 시험 방법"에서는 대기 먼지의 직경 제한 계수 효율 방법을 사용하여 거친 먼지를 결정한다고 규정하고 있습니다. 및 중분진, 고효율 공기 필터의 효율성, 이는 세계 최초로 이 방법을 채택한 천진대학교를 대표하는 다양한 국내 연구 단위의 다년간의 실제 경험을 요약한 것입니다.
1993년 유럽환기협회(ASHRAE)는 기존의 대기먼지 비색효율법(NBS, AFI, ASHRAE)의 중량효율법을 잇달아 폐기하는 동시에 대기먼지나 표준먼지를 이용한 직경계산법을 공포했다.
특히 1982년 6월에는 중국전자학회 청정기술분과(외부명칭은 CCCS—중국오염통제학회)가 설립되었고, '청정기술' 잡지(현재 명칭은 'Clean and Air'로 명명) -컨디셔닝 기술(Contamination Control & Air-conditioning Technology)'은 1983년에 공식적으로 출판되었습니다. 국내 클린룸 기술의 모든 측면을 통합하고 클린룸 기술의 진보를 촉진하며 국제 교류를 촉진하는 데 중요한 역할을 해왔습니다. 홍보 효과가 좋습니다. 1986년 중국청정기술협회는 국제오염통제학회(ICCCS)의 회원이 되었습니다. 당시 회원국은 미국(IEST), 영국(SEE), 프랑스(ASPES), 독일(DIN/VDI), 일본(JACA), 이탈리아(ASCCA), 스위스(SRRT)뿐이었다. 북유럽 4개국(R3-Nodic)이요. (현재는 호주-ACCS, 러시아-ASEMCO, 벨기에-BCW, 한국-KACA, 루마니아-RACC, 브라질-SBCC, 네덜란드-VCCN, 스코틀랜드-SZCZ 등 18개 회원국으로 늘어났습니다.)
1998년 제9차 ICCCS 로스앤젤레스 회의와 1990년 제10차 ICCCS 취리히 회의에서 저자는 중국을 대표하여 회의 집행위원장으로 초청받았다.
2. 생물학적 클린룸 기술:
생물학적 클린룸 기술은 해외보다 10년 이상 늦게 중국에서 시작되었습니다. 1970년대 후반 일부 제약 공장에서는 원래의 공조 시스템을 변형하고 원래의 필터나 글리세린 거즈 커버를 교체하기 위해 공조 공급 시스템의 끝으로 고효율 공기 필터를 사용하기 시작했습니다. 이 기간 동안 상하이 제약 산업 디자인 연구소, 하얼빈 건설 공정 연구소 및 관련 제약 공장 등의 단위는 상하이 4호 및 7호 제약 공장과 전장 제약 공장에서 생물학적 클린룸 기술을 채택했습니다.
1982년 중국제약공업공사는 국가 여건과 해외 경험을 바탕으로 '의약품 생산 관리 관행'(시험안)을 제정했다. 공기 청정도 수준은 미국 연방 표준 209A와 생산 환경을 기준으로 한다. 100개 이상, 클래스 000 및 클래스 100,000 관리 구역과 클래스 10,000 및 부분 클래스 100 청정 구역으로 구분됩니다. 1985년 말에는 "의약품 생산 관리 관행 시행 지침"이 작성되어 부분 개정된 "규격"과 함께 공식적으로 공포되어 제약 산업의 현대화를 촉진하기 위한 기반을 마련했습니다. 1988년 보건부는 위에서 언급한 사양과 일치하는 정신의 "의약품 우수제조관리기준"을 발표하고 제약 산업에서 GMP 인증을 시행하기 위한 조건을 마련했습니다.
이 단계에서는 생물학적 클린룸이 점차 홍보되어 의료에 적용되고 있습니다. 1980년에 하얼빈 건설공정연구소와 계계무한대학교가 공동으로 개발한 간단한 수평층류 공기조화 정화 장치가 흑룡강 병원에서 사용되었으며 제6기계부 및 제9병원과 상하이 진산 전자 설비가 조립식 멸균 병동을 완성했습니다. 공장은 상하이 신화병원과 쑤저우 의과대학의 세포 연구실에서 사용됩니다.
1980년대 중반, 천진대학교 종합물류병영부 설계 연구소 등은 NASA 표준 NASA-5340II에 해당하는 다양한 기류 유형을 갖춘 12개 이상의 방을 설계하고 건설했습니다. 100~10,000 301병원 재활센터 운영 건물은 민간 무균수술실이다. 천진대학과 천진정화설비공장은 중국의과학원 혈액연구소에 100층 조립 멸균병동을 설계하고 건설했습니다.
1980년대 초 군의과학원, 건설연구소 공조연구소, 방부정화설비공장 등에서 Class II-A(P3급 상당)를 개발했다. 생물학적 안전 캐비닛(생물학적 작업장), 하얼빈 건설 공정 연구소 및 기타 부서
송강 통조림 공장에 가당 우유, 토마토 소스 및 베이컨을 위한 무균 통조림실을 완공하여 생물 안전 응용 분야를 개척했습니다. 중국의 식품 가공 생명공학.
1985년경 군의학연구소에서 개발한 JWL 핀홀 플랑크톤 박테리아 샘플러와 상하이정신전자장비공장과 통지대학이 공동 개발한 SS 갭형 공기 플랑크톤 박테리아 샘플러가 감정을 통과했다.
생물학적 클린룸 기술에 대한 일부 연구 작업.
3. 기초 및 기술 연구:
1970년대 후반부터 1980년대 후반까지 10년 동안 클린룸의 기초 및 기술 연구에서 많은 성과가 있었고, 예를 들면:
중국 대기 먼지 통계 법칙, 대기 먼지 농도에 대한 습도의 역할, 대기 먼지 농도의 "W"자형 일별 분포 모델을 제안하여 실외 측정의 기초를 제공했습니다. 설계농도;
p>에어커튼을 구비한 층류후드의 격리효과, 설계원리 및 계산방법을 제안하였다.
이론적 계산식, 경험적 계산식 및 자가정화식을 제안하였다. 난류 클린룸의 균일 분포 시간, 오염 시간 계산 공식;
최대 공간 폭, 계산 모델 및 하단 환기 모드의 하한 풍속 개념 및 데이터 제안 단방향 흐름 클린룸;
고효율 공기 필터 밀봉 및 안내의 이중 링 밀봉 원리 및 방식과 역 액체 탱크 밀봉 방식 제안
테스트;
필터 재료를 확립하고 필터의 박테리아 여과 효율 테스트 벤치를 통해 대기 먼지 박테리아 발생원의 박테리아 여과 효율과 계수 및 계수 사이의 상관 관계를 얻었습니다. 가중 효율성.
중국 건축 연구 아카데미, 제4 기계부 제10, 11차 아카데미 및 기타 과학 연구 기관, 설계 연구소, 천진 대학, 청화 대학, 통지 대학, 하얼빈 건축 공학 연구소, 허베이 연구소 기술 및 기타 기관의 이에 대한 더 많은 작업이 수행되었습니다.
4. 제품 연구 개발 측면:
1979년부터 1981년까지 천진대학, 천진 멜론 섬유 공장 및 기타 단위에서 다양한 재료(폴리에스테르, 폴리프로필렌, 비닐론, 면, 양모, 초미세 유리섬유...), 다양한 공정(니들 펀칭, 스프레이 글루, 핫멜트, 멜트블로운, 핫 프레싱, 롤러), 수백 가지 종류 및 필터 소재 시리즈 사양 TL-Z 및 TL-C 시리즈는 와이어 직경 구배, 밀도 구배 및 복합 재료 및 공정을 갖춘 부직포 필터 재료로 부분적으로 거친 효율을 하위 효율 필터로 대체했습니다. 당시 미국, 프랑스, 일본 등에서 도입한 자재로 인해 많은 외화가 절약되었습니다.
1981년 제4기계부 제11연구소, 하북공과대학, 천진에서 WGP-01형 무분할 고효율 에어필터(미니 주름 HEPA 필터) 개발에 성공했다. 제2무선특수장비공장, 국산품 격차 메꿔
1985년 제4기계부 제11연구소와 쓰촨제지공업연구소, 충칭전파특수장비공장이 공동으로 여과가 가능한 CGB 고효율 에어필터 개발을 완료했다. 0.1μm 먼지의 입자 계수 효율은 99.99~99.995, 저항은 245~270Pa로 일본에서 생산되는 ULPA 고효율 공기 필터와 유사한 기술 수준에 도달한 것으로 확인되었습니다. 시간. 1987년 1월, 천진제약정제설비공장과 건설연구소 공조연구소가 개발하고 외국 ULPA 필터(일본 Ninzu Co., Ltd. 제품)를 채택한 0.1μm 클래스 10 클린룸이 감정을 통과했습니다. 1988년 5월 기계전기부 제11설계연구소 및 충칭무선특수설비공장 국산 0.1μm 고효율 공기필터를 사용한 0.1μm Class 10 클린룸이 심사를 통과하였고, 주요지표는 1980년대 외국의 기술 수준이다.
같은 기간 해외 클린룸 기술은 꾸준히 발전하고 발전했다.
1982년에는 칩당 약 50,000~60,000개의 장치를 갖춘 16K비트 RAM(Random Access Memory)이 베스트셀러가 되었습니다.
1984년에 256K비트 RAM이 실용화 단계에 들어갔습니다. 같은 해 초 일본은 칩당 약 200만 개의 장치를 탑재한 1메가비트 DRAM(Dynamic Random Access Memory)의 성공적인 시험 생산을 발표했습니다. 1985년에 미국은 4메가비트 집적회로 개발을 완료했습니다. 1980년대 말에는 4M비트 DRAM이 상용화되었습니다.
터널형 클린룸, 클린파이프(덕트형 클린룸), SMIF 등 에너지 소비를 줄이고 공정 자동화 및 높은 청정도 요건을 충족하는 다양한 클린룸 기류 구성 솔루션과 기술도 이 단계에서 등장하고 있다. (표준기계 인터페이스 - 표준기계 인터페이스) 기술 등
1980년대 중반부터 마이크로전자공학 업계에서는 1976년 4월 24일 발행된 미국 연방 표준 209B에서 규정한 최고 청정도 등급인 Class 100(≥0.5μm, ≯ 100pc./cu.ft) )는 더 이상 요구 사항을 충족할 수 없습니다. 1M 비트 DRAM의 선폭은 1μm에 불과하므로 환경 수준 10(0.5μm)이 필요합니다. 실제로 1970년대 후반부터 마이크로 전자공학 기술의 발전과 함께 미국과 일본에서는 더 높은 수준의 클린룸이 건설되었고 이에 상응하는 검출 장비인 레이저 입자 계수기, 응축 핵 입자 계수기(CNC)가 등장하게 되었습니다. 또한 사용되어 탄생했습니다. 이 시기의 경험을 요약하고 기술 진보의 요구에 부응하여 1987년 10월 27일에 미국 연방 표준 209C가 발행되어 원래 100~100,000의 4단계에서 1~100,000의 6단계로 청정도 수준을 확장했습니다. 식별기준 입자크기를 0.5μm~5μm에서 0.1μm~5μm로 확대했습니다.
국제표준에 맞춰 표준화를 향해 나아가고 있습니다
1990년대 초반부터 현재 전자기술은 계속해서 발전하고 있다. 급속한 발전에 힘입어 청정기술은 계속 발전하고 있다. 다음 표는 국제적 대규모 집적회로 공정과 국내 대표제품의 개발과정을 보여준다.
1992년 9월 11일에 공포된 미국 연방 표준 FED-STD-209E는 1988년 6월 15일에 공포된 FED-STD-209D를 대체하여 청정도 수준을 영국식에서 미터법으로 변경했습니다. M1부터 M7까지 7개 레벨로 나누어져 있습니다. 209D와 비교하면 최고 수준이 절반 수준 위로 확장됩니다(209D의 레벨 1 먼지 입자 ≥0.5μm 공기 중 ≯35.3pc./m3, 209E의 M1 수준 ≥0.5μm 먼지 입자 ≯10pc./m3).
30년 넘게 미국 연방 표준 209는 전 세계 청정 기술 산업에서 인정받는 표준이었습니다. 연방 정부 기관이 사용할 미국 연방 표준을 승인하는 권한 있는 기관인 미국 총무청(GSA)은 2001년 11월 29일 FED-STD-209E를 폐지하고 ISO-14644 관련 표준을 채택한다는 발표를 했습니다. 이번 결정은 청정 기술
이 세계 경제 통합과 함께 국제 화합을 향해 더욱 나아가게 될 것임을 의미합니다.
1990년대 초부터 현재까지 중국 경제는 안정적이고 빠른 성장을 유지해 왔으며, 국제 투자도 지속적으로 유입되었으며, 수많은 다국적 그룹이 중국에 수많은 마이크로전자공학 공장을 잇달아 건설했다. 따라서 국내 기술과 연구원은 해외 고급 클린룸의 설계 개념을 직접 접하고 세계의 첨단 장비 및 장치, 관리 및 유지 관리 등을 이해할 수 있는 더 많은 기회를 갖게 됩니다. 이러한 관점에서 보면 실제로 모든 각도에서 국제 표준과 점점 더 통합되고 있습니다.
중국도 마이크로 전자공학 기술 개발에 많은 재원을 투자해 왔다. 이 단계에서 Shougang NEC Corporation, Huajing Electronics Group Corporation, Shanghai Huahong NEC Electronics Corporation, Shaoxing Huayue Microelectronics Corporation, Tianjin MOTOROLA Corporation, Shanghai Belling Microelectronics Corporation 등이 설립되었지만 일반적으로 Microelectronics Corporation에는 여전히 상당한 격차가 있습니다. 전자 기술과 세계의 선진 생산 수준, 특히 연구 개발 수준 사이.
1990년대 초부터 전국 수천 개의 제약공장은 물론, 의약품 원료, 포장재를 생산하는 비제약업체에서도 GMP법 시행에 청정기술이 대중화됐다. 및 기타 비제약 기업들이 연속적으로 기술 혁신을 수행해 왔습니다. 그 규모와 폭은 전례가 없습니다. 1992년 중국약약공업공사와 중국화학약품공업협회는 1985년에 발표한 "GMP 시행 지침"을 개정하고 새로운 시행 지침을 발표했습니다. 그 후, 1998년에 국가식품의약국이 개정한 "우수약품제조기준"이 발표되어 국제 표준, 즉 중국의 1998 GMP(1999년 8월 1일 시행)와 더욱 통합되었습니다. GMP 이행을 확대하여 제약산업 전반에 걸쳐 인증제도를 시행함으로써 기반을 더욱 마련하였습니다. 1990년대 초반부터 병원의 무균 수술실 구축은 모든 면에서 주목을 끌었으며, 주요 도시에는 수천 개의 바이오클린 수술실, 바이오클린병동, 10만~100레벨까지 다양한 실험동물이 건설됐다. 집.
지난 10년간 국내 청정기술산업의 역사를 정리하자면, 저자의 개인적인 의견은 엇갈린 입장이다. 클린룸 기술 산업이 관련 사양, 클린룸 설계 아이디어 및 계획, 건설 기술 및 관리, 감지 방법 및 기술 등의 내용에 반영되는 등 여러 측면에서 국제 표준과 점점 더 일치하고 있다는 점을 기쁘게 생각합니다. 중국 국가 표준 개정에 반영된 바와 같이, 2001년 11월 13일에 발표된 국가 표준 GB50073-2001 "클린룸 설계 코드"는 공기 청정도 등급 분류에 있어 분명히 동등함을 나타냅니다. 국제 표준 ISO14611-1을 채택하는 것은 좋은 예. 제약 산업, 일반 전자 조립 산업, 의료 및 건강, 식품, 화장품 산업을 중심으로 클린룸 기술이 크게 대중화되었습니다. 그러나 이러한 산업은 기본적으로 ISO5 또는 중국 표준 N5(원래 연방 표준 FED-STD-209E의 클래스 100과 동일) 이하의 클린룸이며 사용되는 주요 장비는 고효율 및 다양한 수준의 필터, 블로우 등입니다. 샤워실 등. 객실, 정화 작업대, 에어컨 및 냉장 장치, 금속 벽 패널, 바닥 복합 재료 등은 기본적으로 모두 중국에서 제조됩니다. 따라서 1970년대 주로 베이징, 텐진, 상하이 지역에 집중된 소수의 클린룸 장비 제조업체 및 건설 설치 단위에서 1980년대 후반에는 100개가 넘는 클린룸 장비 제조업체 및 건설 설치 단위에 이르기까지, 현재 전국 거의 모든 성, 시로 성장했으며, 상당한 경험을 축적한 수천 개의 클린룸 관련 장비, 장비 제조 공장, 건설 및 설치 단위뿐만 아니라 일련의 설계 단위, 디버깅 및 테스트 단위가 있습니다. .
불완전한 통계와 계산에 따르면 전국에서 운영 중인 각급 클린룸 면적은 1980년대 초 10만㎡ 이상에서 200만㎡ 이상으로 급증했다. 일부 마이크로전자공학 공장 생산 작업장의 청정도 수준은 0.1미크론 레벨 1이라는 높은 수준에 도달했습니다. 청정 공기 흐름 패턴에 대한 이론적 계산 및 실험 연구 측면에서 천진대학교 하얼빈 건설 공정 연구소, 건설 연구소 공조 연구소 및 기타 단위는 수치 시뮬레이션 방법과 CFD(전산 유체 역학)와 실험을 결합한 방법을 채택했습니다. 그는 일반 클린룸의 벡터 흐름 패턴, 공기 배출구 레이아웃 및 고효율 필터의 청소 효과에 대한 연구를 수행했으며, 이전 ICCCS 국제 학술 교류 회의에 참여하고 국제적으로 다수의 연구 논문을 발표했습니다.
해외에서 설계하고 외국 장비 및 건설을 사용하여 구축한 MOTOROLA, SAE, KODA, CTS가 설계한 다양한 청정도의 클린룸 시스템 시운전, 테스트 및 승인에 천진대학교 및 기타 단위가 참여했습니다. 관리 기술. 그는 마이크로 전자공학 및 제약 산업 클린룸을 위한 외국 고급 클린룸의 설계 포인트와 기술적 요점, 디버깅 및 승인 기술 및 해당 사양에 대한 깊은 이해와 숙달을 갖고 있습니다. 그는 미국 FDA와 광범위한 협력 관계를 구축했습니다. , NEBB, IEST, 일본의 JACA 등이 연결됩니다.
특히 언급할 만한 점은 중국전자학회 청정기술분과 신임 지도자들의 적극적인 노력으로 중국의 제18차 국제공해방지학술대회(2006) 개최가 성공했다는 점이다. 이는 1972년 이후 처음이다. ICCCS 설립 이후 중국에서 이런 성대한 행사가 열리는 것은 처음이다. ICCCS는 중국의 청정 기술 발전을 촉진하는 데 중요한 역할을 할 것이다.