일정한 유속과 순도를 지닌 일반 질소와 수소는 혼합기에서 완전히 혼합된 후 팔라듐 촉매 탈기기가 장착된 장치로 동시에 들어갑니다. 여기서 2H2+O2= 2H2O의 화학 반응은 탈산소 촉매의 작용으로 생성됩니다. 탈산소 후, 질소가스 중의 수증기는 냉각기를 통해 탈수되고, 이후 질소가스는 계속해서 건조기로 유입되어 건조되며, 질소 이슬점은 약 -60°C에 도달하는데, 그 중 하나가 2대이다. 1개는 흡착 및 건조용으로 사용되며, 다른 1개는 흡착 및 건조용으로 사용됩니다. 수증기로 포화된 건조기는 재생되어 다음 흡착 작업을 준비합니다. 건조된 질소는 필터를 통과하여 먼지를 제거하고 최종 제품은 고순도 질소입니다.