청결도는 공기 중의 입자 수에 따라 등급이 나뉘는데, 주로 먼지, 박테리아, 기타 유해 물질이 날아갑니다. 또한 다양한 프로세스 요구 사항에 따라 온도, 습도, 압력, 소음 등에 대한 특정 제어도 필요합니다.
청정도 분류는 특정 공간 범위 내의 입자를 감지하는 것입니다. 가장 일반적으로 사용되는 것은 1입방피트(ft?)를 측정하는 미국 연방 209E 표준입니다. 국제 ISO14644에서는 1입방미터(m?)를 감지합니다. 미세입자의 크기는 0.1~5μm이며, 일반적으로 0.5μm를 기준값으로 사용합니다.
예를 들어 클래스 100 클린룸에는 1입방피트(ft?)에 0.5μm 입자가 100개 있고, 클래스 1,000은 입자 1,000개, 클래스 10,000은 입자 10,000개로 매우 쉽습니다. 이해하다. 따라서 값이 작을수록 청정도가 높은 것입니다.
미국 연방 209E와 국제 ISO 등급 비교표