Micro-Mechanical MEMS는 English Micro Electro Mechanical Systems, 즉 마이크로 전자 기계 시스템(Micro Electronic Mechanical Systems)의 약자입니다. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술은 마이크로/나노 기술을 기반으로 한 21세기 첨단 기술로, 마이크로/나노 소재를 설계, 가공, 제조, 측정, 제어하는 기술을 말합니다. 기계 부품, 광학 시스템, 구동 부품, 전자 제어 시스템을 일체형 마이크로 시스템으로 통합할 수 있습니다. 이 마이크로 전자 기계 시스템은 정보나 명령을 수집, 처리 및 전송할 수 있을 뿐만 아니라 획득한 정보를 기반으로 자율적으로 또는 외부 명령에 따라 작동할 수도 있습니다. 마이크로전자공학 기술과 마이크로머시닝 기술(실리콘 본체 마이크로머시닝, 실리콘 표면 마이크로머시닝, LIGA 및 웨이퍼 본딩 기술 포함)을 결합한 제조 공정을 사용하여 우수한 성능, 저렴한 가격, 소형화를 갖춘 다양한 센서를 만듭니다. MEMS(Microelectromechanical Systems)는 최근 개발된 새로운 다학문적 기술로, 이 기술은 미래 인류의 삶에 혁명적인 영향을 미칠 것입니다. 여기에는 기계, 전자, 화학, 물리학, 광학, 생물학, 재료 및 기타 분야가 포함됩니다. 2. 마이크로 기계식 자이로스코프(MEMS 자이로스코프)의 작동 원리는 전통적인 자이로스코프가 주로 각운동량 보존 원리를 사용하므로 주로 회전하는 물체이며 회전축의 방향은 브래킷의 회전에 따라 변하지 않습니다. 그것을 운반합니다.