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마이크로전자공학 포장재의 특징은 무엇인가요?

텅스텐-구리 및 몰리브덴-구리 합금은 방열판 재료로도 알려진 마이크로 전자 패키징 재료입니다. 텅스텐-구리 합금은 텅스텐의 낮은 팽창 특성과 구리의 높은 열 전도성 특성을 모두 가지고 있습니다. 텅스텐 구리의 조성을 조정하여 팽창 계수와 열 및 전기 전도도 특성을 변경할 수 있으므로 텅스텐 구리 재료는 내열성이 높고 열 및 전기 전도성이 우수하므로 텅스텐 구리에 더 넓은 범위의 응용 분야를 제공할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼와 갈륨비소와 세라믹 재료의 열팽창 계수가 일치하므로 반도체 재료에 널리 사용됩니다. 고출력 장치 포장 재료, 방열판 재료, 방열 부품, 세라믹 및 갈륨 비소 베이스 등에 적합합니다. .

방열판 패키징에 사용되는 텅스텐 구리 재료의 주요 특성

열전도율 열팽창 계수 밀도

W/(mk)ppm/°C g/ cm3

W90Cu10 180~190 6.5 17.0

W85Cu15 190~200 7.0 16.3

W80Cu20 200~210 8.3 15.6

W75Cu25 220- 230 9.0 14.9

몰리브덴 구리 재료의 주요 특성

W/(mk)ppm/°C g/cm3

Mo50Cu50 230-270 11.5 9.54

Mo60Cu 210-250 10.3 9.66

Mo70Cu 170-200 9.1 9.80

CuMoCu 1:1:1 250 8.8 9.32

CuMoCu 1: 2:1 210 7.8 9.54

CuMoCu 1:3:1 190 6.8 9.66

CuMoCu 1:4:1 180 6.0 9.75

CuMoCu 13:74: 13 170 5.6 9.88

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