1965: 간쑤성 평량시로 이전하다.
1975: 반도체 전용 설비 연구소로 변경.
2000 년: 허베이 삼하연교 개발구에 지사를 설립하다.
2002 년: 중국 전자기술그룹의 설립과 함께 중국 전자기술그룹 제 45 연구소로 이름을 바꿨다.
20 10:' 베이징 반도체 전용 설비 연구소' 로 이름 변경