응용 분야에 따라 현미경은 AFM (반데마나), 정전기현미경 EFM (정전기력), 자기현미경 MFM (정적 자기), 측면력현미경 LFM (프로브 측면 편향력) 등 프로브와 샘플 간의 서로 다른 상호 작용력을 이용하여 개발되어 다양한 종류의 현미경에 상응하는 프로브가 있다.
원자력 현미경 프로브는 주로 다음과 같습니다.
(1), 비접촉/두드리기 모드 핀 끝 및 접촉 모드 프로브: 가장 일반적으로 사용되는 제품, 고해상도, 평균 수명. 프로브는 사용 중에 끊임없이 마모되어 해상도가 떨어지기 쉽다. 주요 용도 및 표면 형태 관찰.
(2) 전도성 프로브: 일반 프로브에 10-50 nm 두께의 Pt (다른 금속과 함께 Cr, Ti, Pt, Ir 과 같은 코팅 결합력을 높이기 위해 도금한 것입니다. 전도성 프로브는 EFM, KFC, SCM 등에 사용됩니다. 전도성 프로브의 해상도는 도청 접촉 방식보다 나쁘며, 사용할 때 전도성 코팅이 쉽게 벗겨지고 오랫동안 전도성을 유지하기가 어렵다. 전도성 핀 끝 신제품에는 탄소 나노튜브 핀 끝, 다이아몬드 코팅 핀 끝, 전 다이아몬드 핀 끝 및 전체 와이어 핀 끝이 포함됩니다. 이 신기술들은 일반 전도성 바늘의 수명이 짧고 해상도가 낮은 단점을 극복했다.
(3) 자기 프로브: MFM 에서 사용되며 일반 분리 및 접촉 프로브에 코발트, 철 등 자석층을 도금하여 만든다. 해상도는 일반 프로브보다 나쁘며 사용 중 전도성 코팅이 쉽게 떨어집니다.
(4) 종횡비 프로브: 종횡비 프로브는 깊이 슬롯과 수직에 가까운 측면을 측정하기 위해 특별히 설계되고 생산됩니다. 특징: 자주 사용하지 않는 제품으로 해상도가 높고 평균 수명이 길다. 기술 매개 변수: 팁 높이 >; 9 μ m; 가로세로비는 5:1; 핀 끝 반지름
(5) 금강석 탄소 AFM 프로브/전금강석 프로브: 하나는 실리콘 프로브의 핀 끝에 금강석 탄소막을 한 층 더하고, 다른 하나는 전강석 재료를 준비하는 것이다 (매우 비싸다). 이 두 가지 금강석 탄소 탐침은 모두 강한 내구성을 가지고 있어 바늘 끝의 마모를 줄이고 수명을 늘렸다.
생물학적 프로브 (분자 기능화), 힘 변조 프로브, 압입 프로브도 있습니다.