1. 전기 제어 캐비닛의 작동 1. 워터 펌프와 공기 공급 장치를 켭니다. 2. 주 전원 공급 장치를 켭니다. 3. 유지 관리 펌프와 진공 게이지의 전원 공급 장치를 켭니다. 진공 게이지를 V1에 놓고 값이 10보다 작아질 때까지 기다립니다. 그런 다음 다음 단계로 진행합니다. 약 5분 정도 소요됩니다. 4. 기계식 펌프를 켜고 프리펌프한 뒤 터보분자펌프의 전원을 켜고 시동한 뒤 진공게이지 스위치를 V2 위치로 바꾸고 2 미만이 될 때까지 펌핑하는데 약 20분 정도 소요된다. 5. 터보 분자 펌프의 판독값이 250에 도달한 후 사전 펌핑을 끄고 전면 기계와 고진공 밸브를 열고 진공을 계속 진행하는 것을 관찰하십시오. 진공이 특정 수준에 도달한 후에만 고진공 게이지를 열 수 있습니다. 진공도를 관찰할 권리. 진공도가 2×10-3에 도달한 후에만 전자총 전원을 켤 수 있습니다. 2. DEF-6B 전자총 전원 공급 장치 캐비닛의 작동 1. 주 전원 공급 장치 2. 전자총 제어 I 및 전자총 제어 II 전원 공급 장치를 동시에 켜십시오. 전자총 제어 I 전원 공급 장치 및 지연 스위치를 누르십시오. , 딜레이, 전원, 보호등이 점등되며, 3분 후 딜레이가 발생하고 보호등이 꺼집니다. 뒷문이 제대로 닫히지 않거나 물 흐름 릴레이에 결함이 있는 경우 보호등이 계속 켜져 있습니다. 3. 10KV 이상에 도달하는 고전압을 켭니다. 빔 전류를 약 200mA로, 커튼 그리드를 20V/100mA로, 필라멘트 전류를 1.2A로, 편향 전류를 1과 1.7 사이에서 조정합니다. 3. 종료 순서 1. 고진공 측정기와 분자 펌프를 끄십시오. 2. 분자펌프가 50으로 표시되면 하이밸브, 프론트 스테이지, 기계식 펌프를 차례로 끄는데 약 40분 정도 소요됩니다. 3. 온도가 50도 미만이 되면 유지관리 펌프를 끄십시오.