MEMS 자이로 스코프는 실리콘 마이크로 모터 자이로 스코프이며, 대부분의 MEMS 자이로 스코프는 상호 직교 진동 및 회전으로 인한 교번 코리올리 힘에 의존합니다. MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 는 기계 요소, 마이크로센서, 마이크로실행기, 신호 처리 및 제어 회로, 인터페이스 회로, 통신 및 전원 공급 장치를 하나로 통합한 완전한 마이크로전기 시스템입니다.
mems 자이로 스코프의 특징:
MEMS 자이로 스코프는 coriolis 정리를 사용하여 회전 물체의 각속도를 각속도에 비례하는 DC 전압 신호로 변환하며 핵심 부품은 도핑 기술, 리소그래피 기술, 부식 기술, LIGA 기술을 통해 변환됩니다. 2. 비용이 낮고 3. 신뢰성이 좋고, 근무수명이 10 만시간이 넘으며, 1000g 의 충격을 견딜 수 있다. 4. 측정 범위가 넓음