클린룸의 청결 수준은 일반적으로 두 가지가 있습니다.
하나는 미국 연방의 209E 입니다. 이것은 폐지되었지만 중국에서는 이미 익숙해져 있습니다. 여전히 자주 사용되고 있습니다. 우리가 말하는 백급, 만급, 십만급 등이 바로 이 등급에 따라 옵니다.
1 입방피트 (ft) 를 의미합니까? ) 0.5μm 먼지 입자의 농도 (예: 100 급은 100 개, 천급은 1000 개, 만급은 10,000 개, 그래서 숫자가 작을수록 등급이 높다.
또 다른 하나는 국제 표준인 ISO14644 로 숫자가 작을수록 청결 등급이 높아진다. 1 입방 미터 (m? ) 다양한 크기의 먼지 입자 수. 이 등급은 미국 연방 209E 표준과 상응할 수 있다.
미국 연방 209E 의 100 급은 ISO14644 의 레벨 5, 1m 에 해당합니까? 내부 0.5μm 먼지 입자는 3520 개입니다. 레벨 1000 은 ISO14644 의 레벨 6, 1m 에 해당합니까? 내부 0.5μm 먼지 입자는 35200 개 ... 등등.
클린 룸 등급 기준 분류