에너지 스펙트럼 (EDS) 은 미세한 고에너지 전자빔으로 샘플 표면을 비추는 데 필요한 미세 영역으로, 물질을 구성하는 요소의 종류에 따라 에너지가 결정되고, 강도가 원소의 함량을 결정하고, 에너지 스펙트럼은 반도체 탐지기로 X-레이의 에너지를 감지하고 크기에 따라 스펙트럼을 펼치며, 에너지 크기에 따라 에너지 특성 X-레이를 생성합니다.
스펙트럼 (WDS) 은 미세하게 모인 고에너지 전자빔으로 샘플 표면을 비추는 데 필요한 분석 마이크로영역으로, 물질의 특성 X-레이를 자극하며, 그 파장은 물질을 구성하는 요소의 종류를 결정하고, 강도는 요소의 함량에 따라 결정되며, 스펙트럼은 결정체가 X-레이에 미치는 회절 효과에 따라 알려진 표면 간격을 사용하는 분광 결정체를 사용하여 다른 파장의 X-레이에 따라 회절 각도에 따라 달라집니다.