1. 다양한 작동 원리
압저항 압력 센서는 단결정 실리콘의 압저항 효과로 구성됩니다.
대부분의 압전 압력 센서는 양의 압전 효과를 이용해 만들어집니다.
2. 강조점의 차이
압전식 압력 센서가 고정된 방향으로 외력을 가하면 내부적으로 전기 분극 현상이 발생함과 동시에 전기적 외력이 제거되면 반대 부호의 전하가 발생하며 외력의 방향이 바뀌면 전하의 극성도 달라집니다. 결정에 가해지는 힘은 외부 힘의 크기에 비례합니다.
압저항 압력 센서는 단결정 실리콘 웨이퍼를 탄성 요소로 사용하여 단결정 실리콘 다이어프램에 집적 회로 공정을 사용하여 단일 저항의 특정 방향으로 등가 저항 세트를 확산시킵니다. 크리스탈 실리콘, 저항이 연결되어 브리지를 형성하고 단결정 실리콘 칩이 센서 캐비티에 배치됩니다. 압력이 변하면 단결정 실리콘에 변형이 발생하고, 그 위에 직접 확산된 변형 저항이 측정된 압력에 비례하여 변화하며, 브리지 회로에서 해당 전압 출력 신호를 얻습니다.
3. 다양한 구조
압전 압력 센서는 압전 효과를 기반으로 하는 압력 센서입니다. 다양한 유형과 모델이 있으며 탄성에 민감한 구성 요소와 힘을 견디는 메커니즘의 형태에 따라 다이어프램 유형과 피스톤 유형으로 나눌 수 있습니다. 다이어프램형은 크게 본체, 다이어프램, 압전소자로 구성됩니다.
압전 저항 센서는 단결정 실리콘 다이어프램에 저항 스트립을 통합하는 통합 공정을 사용하여 실리콘 압 저항 칩을 형성하며 칩 주변은 쉘에 고정 및 포장되며 전극 리드는 뽑아냈다.
바이두 백과사전 - 압전 저항 압력 센서
바이두 백과사전 - 압전 압력 센서