클래스 100,000, 클래스 10,000 및 클래스 100 클린 작업장의 정의:
미국 연방 정부가 공표한 표준에 따르면 클린룸은 6단계로 나눌 수 있습니다. 레벨 1, 레벨 10, 레벨 100, 레벨 1000, 레벨 10000, 레벨 100000이 있습니다. 클린룸의 레벨을 먼지 입자의 개수로만 표현한다면, 먼지 입자의 크기는 0.5um
예를 들어 클래스 1, 클래스 10 및 클래스 100 클린룸의 최대 먼지 입자 수는 먼지 입자의 경우 각각 1, 10 및 100 입자보다 작거나 같습니다. 크기가 0.5μm가 아닌 경우 클린룸 등급은 일련의 먼지 입자 크기로 표현된 특정 기준을 기반으로 해야 합니다.
예: 레벨 10은 0.2um, 레벨 1은 0.12um입니다. 집적 회로 제조에 필요한 클린룸은 클래스 1000보다 높은 청정도 수준을 가져야 합니다.
클린룸의 청결을 유지하기 위해 10000층과 100000층 출입 인원에 대한 복장 규정이 있으며, 먼지가 없는 가운, 먼지가 없는 신발, 모자를 착용해야 합니다. 마스크, 1000레벨(포함) 이상인 경우 깨끗하고 특별한 점프수트, 몸 전체를 덮을 수 있는 먼지 없는 신발을 착용하고 장갑과 마스크를 착용해야 합니다.
100,000층, 10,000층 및 100층 청정 작업장의 정화 매개변수:
공기 교체 횟수: 100,000층 ≥ 15회; 30회, 100≥500회 압력 차이: 인접실 ≥5Pa
평균 풍속: 겨울 온도 10~100m/s; 여름<26℃는 ±2℃ 변동합니다.
온도는 45~65%이며, GMP 분말 작업장의 습도는 약 50%입니다. 전자 작업장의 습도는 정전기 발생을 방지하기 위해 약간 높습니다.
소음 ≤65dB(A), 신선한 공기 보충량은 총 공기 공급량의 10%-30%입니다.
클래스 100,000, 클래스 10,000 및 클래스 100 청정 작업장의 정화 수준 기준: