질량 유량계 (Mass Flow Meter (MFM 으로 축약됨) 는 온도 또는 압력 변동에 따라 측정 값이 정확하지 않고 온도 압력 보정이 필요하지 않은 가스 흐름을 정확하게 측정하는 미터입니다. 질량 유량 컨트롤러 (Mass Flow Controller, MFC 로 축약됨) 는 질량 유량계의 기능뿐만 아니라 가스 흐름을 자동으로 제어합니다. 즉, 필요에 따라 흐름 설정을 수행할 수 있으며, MFC 는 시스템 압력이 변동하거나 주변 온도가 변경되더라도 흐름을 설정 값에 자동으로 일정하게 유지합니다
간단히 말해 품질 흐름 컨트롤러는 수동으로 설정하거나 컴퓨터에 연결하여 자동으로 제어할 수 있는 가스 안정 흐름 장치입니다.
질량 유량계 (Mass Flow Meter (MFM 으로 축약됨) 는 온도 또는 압력 변동에 따라 측정 값이 정확하지 않고 온도 압력 보정이 필요하지 않은 가스 흐름을 정확하게 측정하는 미터입니다.
질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller (MFC 로 축약됨) 는 질량 유량계 기능뿐만 아니라 가스 흐름을 자동으로 제어합니다. 즉, 사용자가 필요에 따라 흐름 설정을 수행할 수 있으며, MFC 는 자동으로 설정 값에 흐름을 일정하게 유지합니다 간단히 말해서, 품질 흐름 컨트롤러는 수동으로 설정하거나 컴퓨터에 연결하여 자동으로 제어할 수 있는 가스 안정기 장치인 안정류 장치입니다.