MEMS 자이로스코프의 중요한 매개변수에는 분해능(Resolution), 제로 각속도 출력(Zero Output), 감도(Sensitivity) 및 측정 범위가 포함됩니다. 이러한 매개변수는 MEMS 자이로스코프의 성능을 판단하는 중요한 지표이며, 자이로스코프의 응용 환경을 결정하기도 합니다.
해상도는 자이로스코프가 감지할 수 있는 최소 각속도를 나타냅니다. 이 매개변수와 제로 각속도 출력은 실제로 자이로스코프의 백색 잡음에 의해 결정됩니다. 이 세 가지 매개변수는 주로 자이로스코프의 내부 성능과 간섭 방지 기능을 설명합니다. 사용자에게는 민감도가 더 실용적인 선택입니다. 측정 범위는 자이로스코프가 측정할 수 있는 최대 각속도를 나타냅니다. 애플리케이션마다 자이로스코프의 다양한 성능 표시기에 대한 요구 사항이 다릅니다.