두께 측정은 현재 인기 있는 나노 미터 측정 기기 (광학 3D 표면 프로파일 러, 레이저 * * * 초점 현미경 및 계단계) 를 사용할 수 있습니다.
1, 광학 3D 표면 프로파일러 (광학, 비접촉)
광학 3D 표면 프로파일러는 백색광 간섭 기술 원리로 간섭 줄무늬의 변화를 측정하여 표면 3D 형태를 측정합니다
2, 레이저 * * * 초점 현미경 (광학, 비접촉)
레이저 * * * 초점 현미경은 턴테이블 * * * 초점 광학 시스템을 기반으로 높은 안정성 구조 설계와 3D 를 결합합니다 표면의 물리적 형태를 측정하고, 3D 표면 형태, 2D 의 세로 깊이 형태, 윤곽 (세로 깊이, 폭, 곡률, 각도), 표면 거칠기 등과 같은 마이크로나노 크기의 3 차원 형태 분석을 수행할 수 있습니다.
SuperViewW1 광학 3D 표면 프로파일 러
VT6000*** 초점 현미경
3, 계단계 (프로브, 접촉식 미크론과 나노 구조의 막 두께와 박막 높이, 표면 형태, 표면 잔물결, 표면 거칠기 등을 측정할 수 있습니다. 선형 가변 차동 용량 센서 (LVDC), 에이급 해상도, 13um 거리에서 0.01 에 달할 수 있습니다. 높은 신호 대 잡음비와 낮은 선형 오차로 인해 제품은 몇 나노미터에서 수백 미크론 단계의 형태 특징을 스캔할 수 있습니다.