액환 펌프는 굵은 진공펌프에 속하지만 중국의 석유, 화공, 전력, 경방, 제지, 의약 등 분야에서는 여전히 큰 시장이 있다. 외국에서는 액환 펌프의 매출이 전체 진공 펌프 시장의 14, 건펌프에 버금가는 것으로, 액환 펌프는 대부분 주물이고, 가공 요구도 높지 않고, 노동 집약적인 제품이기 때문에 국산 액환 펌프는 가격면에서 경쟁 우위를 점하고 있다. 관건은 설계를 개선하고, 부피를 줄이고, 무게를 줄이고, 효율을 높이고, 에너지 소비를 줄이는 것이다. 슬라이딩 밸브 펌프는 슬라이딩 밸브 펌프가 내구성이 강하고 믿을 만하기 때문에 국내외 각종 진공로, 코팅기, 건조, 함침 등의 설비는 모두 슬라이딩 밸브 펌프를 전면 펌프로 사용하지만, 슬라이딩 밸브 펌프 주물은 무겁고 가공량이 많기 때문에 외국의 각 진공공장은 중국에서 파트너를 찾고 있다. 국산 슬라이드 밸브 펌프가 국제시장에 진출할 수 있도록 펌프의 진동 소음을 더욱 낮추고, 분사와 기름 유출을 없애고, 슬라이딩 밸브 펌프의 장기 운행의 신뢰성을 높여야 한다. 직련 로터리 펌프는 진공기술이 각 응용 분야에서 계속 확대됨에 따라 직련 로터리 펌프의 수요가 갈수록 커지고 있다. 이런 펌프 수가 많고 가공 조립 작업량이 많고 가격도 낮기 때문에 일부 외국 진공업체들은 중국에 전문 공장을 설립하고 있다. 국산 중소형 직련 펌프는 기술적으로 관문을 통과했고, 가격은 외국의 펌프보다 훨씬 저렴하기 때문에 국산 펌프는 여전히 경쟁 우위를 가지고 있다. 관건은 축봉유유와 회전판 재료와 진공펌프유의 성능 품질 문제를 해결하는 것이다. 직련펌프는 고속 고온에서 성능이 안정되고 운행이 안정적이며, 국산 직련 펌프가 수증기를 뽑는 능력을 더욱 높여야 한다. 로츠 펌프 해외 로츠 펌프 생산 상황을 보면, Leybold, Balzers, Alcatell, Edwards, ULVAC 와 같은 외국 대기업들은 로츠 펌프의 매출이 전 세계 로츠 펌프 매출의 5% 를 넘지 않아 총 20 개에 불과하며, 로츠 펌프 생산량은 크지 않다. 국내외의 거의 모든 대형 또는 소형 고진공 및 중진공 시스템은 흡기 시간을 단축하고 생산성을 높이기 위해 로츠 펌프가 장착되어 있기 때문에 국산 로츠 펌프는 국내 시장을 점령하는 기초 위에서 국제시장에 진출할 방법을 강구해야 한다. 또한 일부 국가와 지역의 전력 주파수가 60Hz 인 것을 고려하면, 회전 속도가 높아지는 상황에서 로츠 펌프의 장기 운행의 신뢰성을 확보해야 한다.
국내 공랭식 직류 대기로츠 펌프는 빠르게 진행돼 기술적으로 성숙했다. 이 펌프는 배기구 아래에 가스 냉각기를 장착하고 있으며, 냉각된 가스 중 일부는 파이프를 통해 펌프강으로 돌아가 회전자를 냉각시켜 압축열의 균형을 맞추기 때문에 이 펌프는 대기를 직립할 수 있다. 서로 다른 극한 진공도의 요구 사항을 충족하기 위해 이 펌프는 직렬로 사용할 수 있으며, 일반적으로 앞에 공랭식 직류 대기 로츠 펌프를 추가하여 달성된 극한 진공은 이전 급 펌프보다 한 단계 더 높다. 이런 펌프는 펌프강 안에 작동 매체가 없기 때문에 실제로는 건펌프에 속한다. 이 공랭식 직행 대기로츠 펌프 및 단위는 이미 석유, 화공, 플라스틱, 농약, 증기 터빈 회전자 동균형, 항공 우주 공간 시뮬레이션 등의 장치에서 장기 운행에 대한 시험을 받았기 때문에 국내에서 대대적으로 보급하고 응용해야 한다. 분자 펌프 분자 펌프는 외국 반도체 분야의 많은 공예 장소에서 저온 펌프 대신 사용됩니다. 특히 스퍼터링, 에칭, LCVD 등의 장치는 복합분자 펌프와 견인 펌프를 주 펌프로 사용합니다.
분자 펌프가 수증기에 대한 추출 속도는 동구경 저온 펌프 추출 속도의 4 분의 1 에 불과하기 때문에 분자 펌프의 배기 시간이 저온 펌프보다 길다. 추출 속도를 높이기 위해 외국에서는 분자펌프 입구 쪽에-130 C ~-150 C 의 저온냉판을 설치해 저온분자펌프라고 하고 수증기는 저온판에 포착되고 다른 가스는 분자펌프에 의해 추출된다. 이런 저온분자 펌프는 진공 코팅 장치에 응용하여 생산 효율을 높이고 막층의 질을 향상시켰다. 중국 반도체 산업, 박막 산업 및 과학 연구 사업이 급속히 발전함에 따라 분자 펌프는 중국 진공 펌프 제조업 발전의 중점이어야 한다. 첫째, 분자 펌프는 다양한 상황에 맞게 작은 것부터 큰 것까지 전체 시리즈를 구축해야 한다. 건식 펌프 외국 건식 펌프 시장의 지속적인 성장은 주로 반도체 산업, 화학 산업 및 박막 산업의 급속한 발전에서 비롯됩니다.
일본에서는 반도체 업계가 오일봉식 기계 펌프 대신 건식 진공 펌프를 모두 사용했고, 유럽 반도체 업계 45 이상은 오일봉식 기계 펌프를 건식 진공 펌프로 교체하여 제품의 성능과 품질을 크게 높였다. 다양한 응용 분야와 작업 조건의 요구 사항을 충족하기 위해 해외에는 다단 로츠 진공 펌프, 다단 발톱 진공 펌프, 나사식 진공 펌프, 소용돌이 진공 펌프, 왕복식 피스톤 진공 펌프, 터빈 무유 진공 펌프 등이 있다. 극한 압력은 10PA ~ 10-2PA 이고, 속도는 20M3/H ~ 500M3/H 입니다. 워터 링 펌프 워터 링 진공 펌프 (워터 링 펌프) 는 2000~4000Pa 의 극한 진공을 얻을 수 있는 굵은 진공 펌프로, 직렬 대기 분사기는 270~670Pa 에 달할 수 있습니다. 수환 펌프는 수환식 압축기라고 하는 압축기로도 사용할 수 있으며, 저압에 속하는 압축기로, 압력 범위는 1~2×105Pa 표 압력입니다.
워터 링 펌프는 처음에 자체 흡입 펌프로 사용되었다가 점차 석유, 화학, 기계, 광산, 경공, 의약품 및 식품 등 많은 산업 부문에 사용되었습니다. 공업에서 생산되는 많은 공예 과정 (예: 진공 여과, 진공 전환, 진공 공급, 진공 증발, 진공 농축, 진공 회조, 진공 탈기 등) 에서 수환 펌프가 광범위하게 응용되었다. 진공 응용 기술의 비약적인 발전으로, 수환 펌프는 굵은 진공 획득 방면에서 줄곧 사람들의 중시를 받고 있다. 수환 펌프의 가스 압축은 등온이기 때문에 인화성, 폭발성 가스를 제거할 수 있고, 먼지, 물을 함유한 가스도 제거할 수 있기 때문에 수환 펌프의 응용이 날로 늘어나고 있다.
그림: 펌프에 적당량의 물을 작업액으로 담는다. 잎바퀴가 그림에서 시계 방향으로 회전하면 수환의 위쪽 내부 표면이 베인 상단과 정확히 접촉합니다 (실제로 블레이드는 수환 내에 일정한 삽입 깊이가 있음). 이때 잎바퀴 허브와 수환 사이에 월치형 공간이 형성되는데, 이 공간은 잎바퀴에 의해 베인 수와 같은 수의 작은 구멍으로 나누어진다. 잎바퀴의 아래쪽 0 도를 시작으로 회전 전 180 시에 잎바퀴의 부피가 작아지고 끝면의 흡입구와 통하면 기체가 흡입되고, 숨을 들이마실 때 작은 구멍이 흡입구와 단절된다. (윌리엄 셰익스피어, 흡입기, 흡입기, 흡입구, 흡입구, 흡입구, 흡입구, 흡입구, 흡입구, 흡입구, 흡입구) 잎바퀴가 계속 회전하면, 작은 구멍이 크게 작아지고 가스가 압축됩니다. 소강이 배기구와 통하면 가스가 펌프 밖으로 배출된다. 요약하면, 워터 링 펌프는 흡입, 압축 및 배기 가스를 달성하기 위해 펌프 캐비티의 변화에 의존하므로 가변 용량 진공 펌프에 속합니다.
워터 링 펌프는 다른 유형의 기계식 진공 펌프에 비해 다음과 같은 장점이 있습니다.
< P > 구조는 단순하고 제조 정밀도는 높지 않으며 가공하기 쉽습니다.
구조가 작고 펌프의 회전 수가 높기 때문에 일반적으로 감속장치 없이 모터에 직접 연결할 수 있습니다. 따라서 작은 구조 크기로 큰 배기량을 얻을 수 있고, 점유 면적도 작다.
압축 가스는 기본적으로 등온입니다. 즉, 압축 가스 공정의 온도 변화는 거의 없습니다.
펌프 내부에 금속 마찰면이 없어 펌프 내부를 윤활할 필요가 없고 마모가 적다. 회전과 고정 장치 사이의 밀봉은 물봉으로 직접 완성할 수 있다.
흡입이 균일하고, 업무가 원활하고, 조작이 간단하고, 수리가 편리하다.
워터 링 펌프도 단점이 있습니다.
비효율적이며 일반적으로 약 30, 50 에 더 좋습니다.
진공도가 낮은 것은 구조적 제한뿐만 아니라 작업액 포화증기압에 의해 제한되기 때문이다. 물을 작업액으로 사용하면 극한 압력이 2000~4000Pa 에 달할 수밖에 없다. 오일로 작동액으로 최대 130Pa 까지 가능합니다.
간단히 말해서, 수환 펌프의 가스 압축은 등온이기 때문에 인화성, 폭발성 가스를 제거할 수 있다. 배기 밸브와 마찰 표면이 없기 때문에 먼지가 있는 기체, 응고성 기체, 가스와 물의 혼합물을 제거할 수 있다. 이러한 두드러진 특징을 통해 비효율적이지만 여전히 널리 사용되고 있습니다.