< P > 회사는 대량의 자금을 투입하여 공장의 고정밀 운영을 건설하는데, 고정밀 전해질 스퍼터링 스프레이를 이용하여 PET (폴리에틸렌-벤젠 = 에스테르) 에서 추출한 투명 강도 복합 폴리에스테르 섬유막에 금속 원자층을 넣어 고강도 접착력, 인장, 160 고 신장도, 강항력을 갖추고 있다. 각종 금속도금으로 99 의 자외선을 쏘면서 서로 다른 파장의 열에너지를 차단하여 자외선과 가시광선으로 인한 열을 차단한다. 동시에 좋은 투과율을 유지하다.
마그네트론 스퍼터링은 저압 고속 스퍼터링을 위해 가스의 이온화율을 효과적으로 높여야 한다. 과녁 음극 표면에 자기장을 도입하여 전기 입자에 대한 자기장의 제약을 이용하여 플라즈마 밀도를 높여 스퍼터링률을 높이는 방법.
마그네트론 스퍼터링의 작동 원리는 전자가 전기장 E 의 작용으로 기판으로 날아가는 동안 아르곤 원자와 충돌하여 전리가 Ar 과 새로운 전자를 생성한다는 것을 의미합니다. 새로운 전자는 베이스로 날아가고, Ar 은 전기장 작용으로 음극 과녁으로 빠르게 날아가고, 높은 에너지로 과녁 표면을 폭격하여 과녁이 튀게 한다. 스퍼터링 입자에서 중성 표적 원자 또는 분자는 기판에 퇴적되어 박막을 형성하고, 생성된 2 차 전자는 전기장과 자기장에 의해 작용하여 E (전기장) ×B (자기장) 가 가리키는 방향 드리프트 (E×B 드리프트) 를 생성하는데, 그 궤적은
마그네트론 스퍼터링과 비슷하다 링 자기장의 경우 전자는 대략적인 사이클로이드 형태로 과녁 표면에서 원주 운동을 하는데, 이들의 운동 경로는 길기만 할 뿐만 아니라 과녁 표면 근처의 플라즈마 영역에 묶여 있으며, 이 영역에서는 대량의 Ar 을 전전하여 과녁을 폭격하여 높은 퇴적률을 달성한다. (존 F. 케네디, Northern Exposure (미국 TV 드라마), 스포츠명언) 충돌 횟수가 증가함에 따라 2 차 전자의 에너지가 소진되어 과녁 표면에서 멀어지고 전기장 E 의 작용으로 결국 기판에 퇴적된다. 이 전자의 에너지가 매우 낮기 때문에, 기판에 전달되는 에너지가 매우 작아, 기판의 온도 상승이 낮다.
마그네트론 스퍼터링은 입사 입자와 타겟의 충돌 과정입니다. 입사 입자는 과녁에서 복잡한 산란 과정을 거쳐 과녁 원자와 충돌하여 일부 운동량을 과녁 원자에 전달하는데, 이 과녁 원자는 또 다른 과녁 원자와 충돌하여 계단식 과정을 형성한다. 이 계단식 과정에서 일부 표면 근처의 과녁 원자는 바깥쪽으로 이동할 수 있는 충분한 운동량을 얻어 과녁을 떠나 튀겼다.